普達特科技 · 00650 · 2026-03-24 20:42:00 · 13 瀏覽
普達特科技(00650.HK)自願公佈半導體設備業務進展 🚀
集團一台12英吋LPCVD爐管設備已成功通過客戶驗收,應用於LP-SiN薄膜沉積工藝。另一台12英吋ALD爐管設備正在客戶端驗證中,應用於ALD-SiN/ALD-SiCN薄膜沉積工藝。
集團的Galilee-LP與Galilee-ALD設備平台,服務12英吋邏輯制程、DRAM及3D NAND領域,應用覆蓋65nm至7nm先進節點,可沉積SiN、Poly、TEOS等多種膜層材料。該類設備市場目前主要由海外供應商壟斷,國產化率極低。集團設備在填充深寬比、均勻性等性能指標達到國際標準的同時,擁有更高的批次生產效率。
此外,自2025年10月至今,已有五台6至12英吋CUBE單片清洗設備成功於多家高質量客戶處通過驗收,應用於SiC/功率器件等領域,其中兩台為重複訂單。
集團未來將繼續完成先進爐管與清洗設備的交付與驗收,持續擴大高質量客戶基礎,推動先進半導體設備國產化取得進一步突破。💪
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